中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380511 を販売中

ID: 9380511
PECVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500は、基板やドーパントの反応によってナノスケール装置を製造する高性能機器です。この最先端の原子炉は、優れたプロセス安定性、効率、再現性を提供するように設計されています。これは、高度なプロセス制御システムを採用しており、チャンバーパラメータの正確な制御を可能にします。AKT 3500は、高度な真空チャンバーを備えており、低から高(10-4〜10-2 torr)のプロセス圧力を達成することができます。このチャンバーは傾きと回転の両方の機能を備えており、デバイスをさまざまな角度に取り付けることができます。この機能により、工具の傾きと回転の制御を強化し、より均一なナノ構造を作成することができます。この原子炉は非常に汎用性が高く、温度範囲(-120°Cまで)およびウエハサイズ(4「から8」まで)のプロセスを実行することができます。組み込みのガス混合マニホールドにより、AMAT AKT-3500は高精度(1点校正)でガスを混合してプロセスをより良く制御することができます。AKT AKT-3500は高度な冷却ユニットで構成されており、-30°Cから200°Cまでの動作冷却能力を提供します。この冷却機は、優れた特性と性能でナノ構造の開発を強化する安定した温度を維持するのに役立ちます。このデバイスはまた、均一性の性能が向上しているため、より効率的に均一なナノ構造を製造することができます。3500には、プロセスの安定性を確保するためにプロセスのパラメータを監視するインターロックツールなどの安全機能も組み込まれています。このデバイスには、主要なプロセスの中断の可能性を減らすために、マイナーな機器の誤動作を識別できるセルフチェック機能も装備されています。APPLIED MATERIALS AKT-3500は全体的に、優れた特性と性能を持つナノ構造を生成することができる高度な資産です。このモデルは、強力な温度制御、プロセスの均一性の向上、包括的な監視、およびナノスケールのデバイスの製造において貴重なツールとなるさまざまな安全機能を提供します。
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