中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380507 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500リアクターは、幅広い基板上の層とコーティングの信頼性、効率、精密な堆積に使用される高性能な磁気閉じ込め電子サイクロトロン共鳴（ECR）プラズマリアクターです。この原子炉は、さまざまなチャンバー形状で均一なプラズマエッチングを実現し、パラメトリックな柔軟性により最適なプロセス最適化を可能にします。AKT 3500 Reactorによって提供されるin-situプラズマ特性評価機能は、プロセスの最適化と面積に対する一定の均一な堆積のための強力なフィードバック制御機能を提供します。AMAT AKT-3500 Reactorは、ダイヤモンドのような炭素（DLC）コーティング、誘電体の層、多層スタック、広いバンドギャップ酸化層など、幅広い蒸着用途に使用できる高密度で非常にエネルギッシュなプラズマを生成することができます。この原子炉にはplc駆動のC-Vロボットフィーダがあり、ヒーター電力、ガス流量、蒸着速度などのすべてのプロセスパラメータを制御および監視し、蒸着の信頼性と均一性を確保することができます。この高密度プラズマと均一な蒸着速度は、電子加熱装置と組み合わせることで実現されています。アプライドマテリアルズ3500リアクターの二重磁場システムは、ヘリウムクローズループ冷却システムによって冷却されたチャンバー内に配置され、安定した作業環境を維持します。磁場は、ECRゾーンを形成する2つのヘリカル巻き平面インダクタによって生成されます。このECRゾーンは、高密度でエネルギッシュなプラズマの効率的な生成に非常に貢献する電子温度条件の広いダイナミックレンジを可能にします。3500リアクターの電子加熱ユニットは、ECRゾーンに接続されたマイクロ波の導波路機です。マイクロ波はRFサブシステムを介して生成され、チャンバー内に戦略的に配置されているため、エネルギー密度を最大限に高効率なプラズマ生産が可能です。ガス供給ツールなどの残りの処理システムは、蒸着プロセスの期間中、途切れることなく一貫したプロセスを保証するように設計されています。AKT-3500リアクターは、高品質のレイヤーとコーティングを幅広く生産することができる信頼性が高く、効率的で正確な堆積資産です。この原子炉は、強力なフィードバック制御のためのin-situプラズマ特性評価と、安定した蒸着環境のためのクローズドループ冷却モデルを備えています。パラメトリックな柔軟性と高度なプロセス制御ソリューションにより、AKT AKT-3500 Reactorは、あらゆる蒸着アプリケーションに最高レベルのプロセス最適化と均一な蒸着を提供します。