中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380506 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500は、優れたエッチング性能と幅広いプロセス能力を実現するために設計された第三世代反応イオンエッチング(RIE)炉です。AKT 3500は、独自の惑星ガス分配技術を搭載した超高精度誘電体、金属、ハードマスク機能を製造するために設計された平行プレートエッチャーです。カスタマイズされた水平および垂直のガス構成により、幅広いプロセス能力を実現します。これには、モダンなウェットエッチング、異方性エッチング(RIE)、深いシリコンエッチング、金属および誘電体の層のアンダーカットエッチングが含まれます。さらに、AMAT AKT-3500は自動パッド洗浄機能を備えており、洗浄時間を短縮し、現場のエッチングの均一性を向上させます。3500は、簡単なパイプライン変更のための迅速なローディングを可能にする負荷/ロック装置を備えています。この原子炉は高度な圧力制御も備えており、長期間にわたる均一なプロセスの再現性を可能にしています。さらに、AKT-3500には特別な可変層システムが装備されています。このユニットは、1つのツールを複数のレイヤーに使用できるため、必要なセットアップ時間を短縮し、レイヤー間の余分な負荷を排除します。機械はまた薄い層の改善されたプロセス安定性を可能にします。さらに、AKT AKT-3500は現場での加熱ツールを備えており、プロセス制御と精度を向上させるためにエッチング温度を最適化することができます。APPLIED MATERIALS 3500は、信頼性が高くユーザーフレンドリーな機械であることが証明されており、世界中の半導体製造業者やメーカーの間で非常に人気があります。この資産はまた、効率とスループットを向上させることを目標に、シンプルで直感的な操作のために設計されています。最後に、AMAT 3500は信頼性の高い汎用性の高い原子炉であり、ユーザーは幅広いエッチング処理を行うことができます。特許取得済みの平面ガス分配技術は、優れたエッチング性能を提供し、負荷/ロックモデル、可変層装置、およびその場での加熱システムは、ユニットの性能とアプリケーション能力をさらに強化します。機械はまたユーザーフレンドリー、作動すること容易および非常に信頼できるです。
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