中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380505 を販売中

ID: 9380505
PECVD System.
AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500は、水平、気相、バッチ生産プロセスの原子炉です。熱分解、CVD、酸化、窒化などの様々な熱処理を行うように設計されています。原子炉は、高温および良好なプロセス制御を必要とする用途の範囲に適しています。3%の精度で最大3,500ワットのプロセス電力を供給±ます。AKT 3500は、温度制御を改善するためのステンレス製のチャンバーで構成されており、熱プロセス中の観察のための加熱窓を備えています。原子炉は、温度を急速に調整できるクローズドループ制御装置で動作し、正確なプロセス制御を可能にします。また、正確な加熱のためのマッチング電源も含まれています。AMAT AKT-3500には、正確なガス流量制御とパージのためのガス制御モジュールが装備されており、強制対流または天然対流炉として動作できる統合炉が含まれています。このシステムには、3ゾーンの連結安全ユニット、安全警告装置を搭載した炉、警告ベル付きの排気ロックなど、さまざまな安全機能が含まれています。応用材料3500はまた熱放散のための水冷機械を含んでいます。このツールはユーザーフレンドリーで、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスと、すべてのプロセスパラメータとフィードバックを表示する7インチのカラースクリーンを備えています。トラブルシューティング用のセルフテストプログラムが内蔵されており、ソフトウェアアップグレードをサポートしています。この原子炉は柔軟性があり、オーバーフロー、スレッショルド、マルチステップなど、さまざまなプロセスに使用できます。また、製品固有のニーズを容易にするために、他のチャンバ部品の統合もサポートしています。AKT-3500は熱処理の適用のための使いやすく、信頼できる解決です。
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