中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380504 を販売中

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500は、半導体産業のさまざまなプロセスを実行するように設計された原子炉です。それはそれがエッチングおよび沈殿タスクの多数を行うことを可能にする高温および圧力機能が装備されています。原子炉は安全遮断機能を備えているため、信頼性が高く、汎用性が高く、安全に使用できます。その中心には、AKT 3500は、熱絶縁性、ガス密度の高い熱分解グラファイトチャンバーを備えており、使用中の優れた熱伝導性と抵抗/再生特性を提供するように設計されています。さらに、チャンバーには、優れた温度均質性に貢献する複合膜が並んでいます。この原子炉は、熱伝達の速度を調節し、正確で一貫した温度を維持するために働く組み込み温度センサシステムを備えた高度な抵抗加熱装置を使用して加熱されます。AMAT AKT-3500はまた、信頼性と再現性の高い結果を保証するのに役立つ統合された自動プロセス制御ユニットを備えています。このマシンは、原子炉の温度と圧力設定を監視し、プロセス精度を維持するためにそれに応じて調整するように設計されています。さらに、このツールは幅広いプロセスや材料にプログラムすることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT-3500には、プロセスパラメータを記録し、結果の文書化を支援する自動プロセス監視アセットも含まれています。このモデルは、プロセス監視および分析機能へのアクセスも提供します。さらに、原子炉は、複数のプロセス要件を満たすために、カスタム構成などのさまざまなオプションを組み込むように設計されています。これらの構成の例には、electron cyclotron resonance microwave plasma （ECR）、静電気、スパッタリング、イオン注入などがあります。このように、AKT-3500は、さまざまな半導体生産アプリケーションの特定のニーズに合わせて調整することができます。最後に、APPLIED MATERIALS 3500には、高速RF電源とRF測定装置を装備し、さまざまなエッチングおよび蒸着プロセスで可能な限り最高の歩留まりを提供することができます。要約すると、AMAT/AKT AKT-3500は半導体業界で複数のプロセスを実行するように設計された先進的で信頼性の高い汎用性の高い原子炉です。温度均質性に優れた耐熱チャンバーと、自動化されたプロセス制御システムとプロセス監視ユニットを備えています。さらに、さまざまな動作に合わせてカスタマイズでき、可能な限り最高の歩留まりを実現する高速RF電源を搭載しています。