中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 3500 #9380503 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 3500は、幅広い用途でデバイスの精密エッチングを可能にするように設計されたマルチチャンバープラズマエッチングリアクターです。プロセスチャンバーのサイズが10"から20"までの範囲では、最大チャンバーサイズが19"までデバイスをエッチングする可能性があります。反応プラズマエッチングとドライエッチングの両方の機能を同じ原子炉で提供します。AKT 3500の原子炉は塩素、臭素、フッ素、アルゴン、窒素、酸素、シランおよび硫黄六フッ化物を含むエッチングの適用によってさまざまなプロセスガスを、利用します。また、プラズマや様々な磁場を発生させる直流（DC）電源や、必要なエネルギー入力を供給するための誘導結合プラズマ源を利用しています。プラズマは、不要な材料の層を剥離したり、デバイスの材料に深くエッチングするために使用されます。エッチング用途に応じて、AMAT AKT-3500は、シングル、トリプル、クワッドチャンバーなどのさまざまなリアクタ設定で使用できます。シングルチャンバーのエッチングプロセスには、必要なプロセスガスの1つの個別のソースが含まれますが、トリプルチャンバーとクワッドチャンバーは複数のガス源を同時に使用できます。APPLIED MATERIALTS 3500の各チャンバーには、静電気及び静電気のサンプリングラインが複数装備されており、デバイスの均一で均一なエッチングを保証します。AKT AKT-3500炉には、火災やガスの遮断システム、緊急フィルターや排気システムなど、さまざまな安全機能が装備されています。さらに、プロセスが常に所望のパラメータ内で動作していることを確認するために、システムには温度調節とアクティブな監視システムが含まれています。AKT-3500は、さまざまなアプリケーション要件に信頼性の高い効率的なエッチング結果を提供します。中型・大面積デバイスの精密エッチングや、小面積デバイスのディープエッチングに使用できます。均一なエッチングを支援するコンポーネントを備えたこの原子炉は、さまざまな業界の要求に応える拡張性を提供します。