中古 AMAT / APPLIED MATERIALS (2) Chambers for Endura #293667135 を販売中

AMAT （2） Endura用チャンバーは、半導体産業におけるさまざまな研究開発および製造プロセス用途向けに設計されたカスタマイズ可能な超高真空チャンバーです。この精密で信頼性の高いチャンバーセットは、要求の厳しい半導体環境のニーズに応えるように設計されています。応用材料（2）エンデュラ用チャンバーは、メインプロセスチャンバーとバックサイドプロセスチャンバーの2つの独立したチャンバーで構成されています。主要なプロセス部屋は4。8リットル（1。3ガロン）および容積3。15立方メートル（1。2立方フィート）の大きい次元の部屋です。304ステンレス製のオールメタル構造で、温度制御用の精密制御発熱体を備えています。また、ターボポンプ、スクロールポンプ、クライオポンプ、ターボドラッグポンプ、イオンポンプなどの真空ポンプもサポートしているため、各ジョブに最適な真空ソリューションを選択できます。2番目のチャンバー（裏面プロセス）は、サイズを縮小した囲まれたチャンバーであり、通常エッチングとスパッタリングに使用されます。それは0。21立方メートル（0。07立方フィート）の容積を特色にし、500°Cまで温度調整を提供します。二重壁ステンレス構造で、プラズマアシストエッチングプロセスの適用に適したカスタムメイド電極を備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS （2）エンデューラ用チャンバーは通常、既存の真空システムに接続されているため、既存のプロセスを合理化しながら、高い精度と均一性を確保できます。チャンバーセットには、非常停止スイッチ、接地接続、発煙フード、安全ライトカーテンなどの安全機能も備えています。最終結果は多くのR&Dおよび工程の塗布のために完全な強力で、信頼できる用具です。チャンバーセットは持続するように構築されており、その精密制御暖房システムは一貫した結果を保証し、半導体業界の厳しい要件に合理的な選択肢となります。