中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 1600 #9364083 を販売中

AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600リアクターは、材料加工アプリケーションで使用されるプラズマエッチング、蒸着、アニール装置です。この原子炉は、高度なナノテクノロジー機能を備えており、薄膜の堆積とエッチングを含む研究開発プロジェクトに使用されています。AKT 1600は、多種多様な材料をエッチングするために使用できる高温、エネルギーイオンなどを生成する誘導結合プラズマ（ICP）源を利用しています。このICPの源はプラズマに渡される力を調節するために調節することができる高周波RFの電源によって与えられます。AMAT AKT1600は、75〜1200°Cの高温での作業が可能です。応用材料1600はロードロック部屋が付いている二重部屋、水平に形成された原子炉です。ロードロックチャンバーは、チャンバまたは装置を外部の汚染にさらすことなく、2つのチャンバー間でウェーハキャリアを輸送するのに役立ちます。これにより、空気やその他の汚染物質が処理室に侵入するのを防ぎます。AMAT 1600は、金属、ポリマー、誘電体などの様々な膜を堆積することができます。これは、堆積物の密度を変更することができるICPマシンのソース電力と組み合わせて、ユニットにガスをもたらすガス注入システムによって達成されます。誘導光線（DLOS）を生成する高度な発熱体は、チャンバー内の堆積膜または他の材料のアニールを可能にし、5分から数時間の時間に設定することができます。1600は、プロセスレートと組成をリアルタイムで制御することができ、正確に行うことができます。この精度と高度な発熱体を組み合わせることで、良好なプロセス再現性と信頼性を実現します。このツールには、カメラのイメージングや赤外線イメージングなど、さまざまな診断機能も装備されています。全体として、AMAT/AKT AKT1600炉は、材料加工アプリケーションに使用される高度なツールです。ICPアセットとDLOS加熱機能により、精密なエッチング、成膜、アニール結果を生成することができます。これらの機能により、再現可能な結果を持つ強力な構造を生成し、最終製品の品質と信頼性を確保することができます。