中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 1600 #293620425 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1600は、現代のウェーハや基板など、さまざまな半導体コンポーネントの高スループット生産用に設計された単一のウェーハリアクターです。この多用途リアクターは、直径6インチまでのシングルロードされたノンオークロードのウェーハを処理するように設計されています。この原子炉は、2つの個別のカセットを受け入れるように設計されており、2つの別々のプロセスを同時に実行することができます。この原子炉の高度なプロセスチャンバー設計により、多次元、高密度プラズマ（HDP）の均一な分布が可能になります。この特殊なチャンバーはまた、繰り返し可能なサイクルタイムで再現性と信頼性の高い高収率の結果をもたらします。AKT 1600にはマルチノズルシャワーヘッドが装備されており、すべての基板の速度で誘電体の均一性を保証します。原子炉室には、ガス流量マニホールドとデジタル酸素ゲージが取り付けられています。この機能により、各プロセスの特定のプロセスニーズを最適に制御できます。原子炉は乾燥した環境で動作するように設計されており、クリーンなプロセス環境を実現しています。ミニセンサーとバルブターボポンプは、各プロセスに正しい量のプロセスガスを提供し、信頼性の高い反復可能な性能を原子炉に付加します。プロセッサには深度調節可能なボート高度システムが搭載されており、非負荷のウェーハで最適な蒸着均一性を確保しています。AMAT AKT1600には、タッチスクリーンのユーザーインターフェイスが付属しています。これにより、プロセスパラメータとレシピの迅速な変更と簡単な監視が可能になります。プロセスモニタと制御システムは、ダウンタイムを最小限に抑え、各プロセスの歩留まりを最大化するのに役立ちます。このシステムの信頼性と再現性により、AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT AKT1600は半導体部品のハイスループット生産に最適な選択肢です。