中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 1350-01133 #293668149 を販売中

ID: 293668149
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AMAT/APPLIED MATERIALS 1350-01133リアクターは、半導体材料を製造するためのユニークなツールです。半導体ウェーハ上に高度な回路構造を構築するために必要な蒸着、酸化、アニーリング、エッチングなどの工程用に設計されています。この装置は、最大1400°Cの温度で動作し、最大0。2 Torrの圧力で動作できます。AMAT 1350-01133原子炉は、従来のシステムよりも多くの利点を提供する2チャンバーシリンドリカル構成です。それは別の部屋およびプロセス温度が付いている2つの独立した取付けを特色にします。反応チャンバーの出口フランジにはガスシールが取り付けられており、反応ガスがチャンバーに崩壊しガス漏れを防ぐことができます。これにより、高温の石英壁とともに、高い精度と再現性を実現します。低圧と温度の組み合わせは、チャンバー内のガスの存在による不均一性の可能性を排除します。応用材料1350-01133の原子炉はまた低いエネルギー消費を提供し、ランニングコストを減らします。このシステムは、最大直径6インチのウェーハと、深さ20mmまでのテフロンeffusionセルを収容できます。1350-01133リアクターを使用して、半導体アプリケーション用の誘電体と金属ベースの層をバルク基板とパターン基板の両方で製造することができます。このユニットは、2Dおよび3Dプロセスにも適しています。それは0。001mmの多数の軸そして位置の正確さの高度の動き制御機械を特色にします。高度なモーションコントロールツールは、蒸着プロセスを通じてレイヤーのゆっくりとした着実なビルドアップを保証し、集積回路に優れた均一性を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS 1350-01133原子炉は、過温度および過圧安全弁、およびトップレベルの制御資産など、多くの安全機能を備えています。これにより、ユーザーの安全性を確保しながら、プロセス環境を制御し、動作中の予期しない変更を防止します。このモデルは、データロギングと機器制御のためのプログラム可能なアーキテクチャも備えています。全体として、AMAT 1350-01133原子炉は、高いレベルの安全性と精度を備えた半導体材料の生産のための先進的なシステムです。高温水晶壁と低圧環境により、半導体ウェーハ上に均一な層が形成され、高度なモーションコントロールユニットにより、複雑な構造の層を安定して構築できます。安全機能とプログラム可能なアーキテクチャを備えたアプライドマテリアルズ1350-01133リアクターは、半導体製造に最適です。
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