中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0290-20094 #9173620 を販売中
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ID: 9173620
Vectra IMP chamber
P/N Description
0010-21831 B101 Heater
0010-02267 Vectra IMP adapter
0223-21783 Shutter kit
0010-13622 IMP Coil match
0010-13627 Bias match
0010-21669 G12 Source
0010-21676 Magnet
Includes:
HFV8000
CX600S
All harnesses
Water flow switches
Fittings.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0290-20094リアクターは、半導体加工に使用される革新的で高度なツールです。独自の設計により、AMAT 0290-20094リアクターは高品質のプロセスを実行する能力を向上させ、デバイスのパフォーマンスを最適化するために調整することができます。これは、コンピュータ制御の2チャンバー設計からなる高温化学蒸着(CVD)ツールです。1つ目のチャンバーは、シリコンウェーハなどの基板を持ち、高温の熱壁炉を備えています。2番目のチャンバーには、シランやアンモニアなどの原料ガスを含むガスボックスがあり、薄膜材料を基板に堆積させるために使用されました。応用材料0290-20094の原子炉は基質の両側の優秀な均等性を保障する低圧CVDプロセスを利用します。このプロセスは、ホットウォールCVD炉と基板への均一な熱伝達により、非常に正確で再現性があります。さらに、0290-20094リアクターは、処理を大幅に容易にする自動CVD操作のための自動ウェハハンドリングとプログラミングの組み込みを容易にします。また、フィルムの温度、ガス流量、蒸着速度を最適化するために設定できるプロセスモニタリングも提供しています。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS 0290-20094リアクターは、その強力な性能特性のために人気が高まっている汎用性の高いCVDツールです。その先進的な設計機能により、高性能デバイスの製造に不可欠な優れた成膜制御と高いプロセス整合性を提供します。AMAT 0290-20094リアクターは、複雑なプロセスを容易にし、優れた結果を提供するために、さまざまな基板やガスと使用することができ、信頼性と効率的なツールです。
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