中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0242-73818-1 #9131586 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 0242-73818-1リアクターは、最先端の集積回路（IC）を高速かつ高品質に製造するために特別な機能を備えた半導体ウェーハ処理装置です。この原子炉は、自動化されたプロセスチャンバーとロボットアームユニットを使用して、生産作業の複雑さを最小限に抑えながら、迅速な積み下ろしを可能にする、コンパクトなシステムプラットフォームで構築されています。原子炉には、独立して調整可能なガスとシャワーヘッドユニットを備えた石英プロセス室があります。この機能により、ウェーハの製造プロセスに最適な条件を作成するために、幅広いプロセスパラメータを設定および調整できます。チャンバーには、正確な制御で均一な処理温度を確保するために、全体に分布する多数の小型サーマルスプレッダーも含まれています。さらに、この原子炉は特許取得済みの高周波プラズマ源も備えており、より迅速な洗浄、エッチング、ウェハの高性能化を可能にします。この原子炉にはロボットアーム機も内蔵されており、プロセスチャンバーへのウェーハの積み降ろしにも簡単にアクセスできます。ロボットアームは完全に統合されたモーションコントロールツールによって制御され、オペレータがプロセスのすべての側面を簡単に制御できます。ロボットアームはモジュール性が高く、異なるウエハやICに簡単にカスタマイズでき、スループットの向上と生産効率の向上を実現します。さらに、独自の6軸の機能により、プロセス環境をより柔軟に制御できます。全体として、AKT 0242-73818-1リアクターは、高速で正確で効率的なウェーハ製造プロセスに適した先進的なリアクタです。独立したガスおよびシャワーヘッドユニット、サーマルスプレッダー、特許取得済みの高周波プラズマソース、組み込みロボットアーム資産、統合モーションコントロールモデルと組み合わされた自動化された機能により、大量の高品質のウェーハ生産に最適です。