中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0242-38209 #293661400 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0242-38209は、基板上に薄膜を堆積させるために使用される化学蒸着（CVD）炉です。このタイプの原子炉は、揮発性原料ガス（しばしば有機金属または有機ケイ素の化合物）を高温に加熱する原理で動作し、そこで分解して反応種を形成して基板上に堆積させる。AMAT 0242-38209は、in-situとex-situの両方の先行配信に使用されます。また、最大3つの前駆体を同時に供給することができ、反応速度をより正確に制御することができます。応用材料0242-38209は縦に一直線に並ぶ2つの積み重ねられた水晶部屋を含んでいる横の平行版の装置です。上の部屋は2つの炭化ケイ素のヒーターおよび部屋および基質を熱するのに使用される金属の網の発熱体を含んでいます。基板は、石英壁から一定の作業距離で基板を保持し、基板全体の均一な加熱を容易にする、加熱された金属製のサセプターに配置されています。下部のチャンバーは2つのセクションに分かれており、各セクションは補助プレートを介して分割されています。上部には、下室に前駆ガスを導入するフラッシュインジェクタがあります。下のセクションは、ポンプダウンプロセスを制御し、インジェクタからガスを転送し、反応環境を制御するために使用されます。0242-38209リアクターの加熱システムは、電気ヒーターと放射ヒーターの両方の組み合わせです。サセプタプレートには、互いに絶縁され、誘導加熱ユニットによって接続される2つの要素が含まれています。この加熱ユニットは、基板全体に均一で効率的な加熱を提供するために使用され、フィルムの堆積物を均一に確保します。基板上の沈殿物を制御するために、一連の調節可能なノズルも機械に存在します。AMAT/APPLIED MATERIALS 0242-38209リアクターには、堆積プロセスを監視するために使用される上部石英チャンバー内の一連の窓も含まれています。これらの窓はサファイアと石英から作られており、炭化物コーティングされた層状の誘電性コーティングが施されており、プロセスへの光学的アクセスを可能にしながら、汚染からの保護を提供します。高度なラマン分光計はAMAT 0242-38209ツールに統合され、フィルムの組成を正確に測定します。さらに、APPLIED MATERIALS 0242-38209には、基板の表面形態と形状を評価するために使用できるイメージングアセットが含まれています。このイメージングモデルは、蒸着プロセスを正確に制御することができ、高品質のフィルム堆積物につながります。全体として、0242-38209 CVD炉は、高度な薄膜蒸着装置です。発熱体、特殊インジェクタ、窓の組み合わせにより、蒸着プロセスを正確に制御できます。ラマン分光計とイメージングシステムにより、フィルムの組成と形態を正確に監視することもできます。その結果、このタイプの原子炉は、半導体装置、集積回路、その他の様々な製品の製造にしばしば使用されます。