中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0242-29971 #293656311 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0242-29971リアクターは、さまざまな半導体材料の製造に使用される高性能ツールです。このシングルウェーハイオン注入炉は、優れた均一性、線量精度、および歩留まりを提供します。原子炉は最大イオン化ビーム電流が2。50 Aで、マルチリング設計で12個の独立したイオン源を採用しています。最大圧力10〜4 Torrで動作し、ターボ速度範囲は0〜4,500 RPM、温度範囲は100〜500°Cです。さらに、2つの高精度アライメントステージと1〜20 MeVの調整可能なエネルギースキャン範囲を備えています。AMAT 0242-29971原子炉は、効率的な処理を保証するために、高度なチャンバー部品と機能で設計されています。基板ホルダーアセンブリは、基板の安全な位置決めを提供するステンレス鋼のポールで構成されています。ガスと流体の分布パネルは、他のガスとのドーピングを防ぎます。上下のガス導入コンポーネントは、ガスの適切な配送を保証する最適化された供給システムを備えており、投与時間を最適化し、均一な結果を保証するのに役立ちます。アプライドマテリアルズ0242-29971リアクターには、さまざまなチューニング構成を備えた10kWのRF電源もあります。チューニングパッドは絶縁されており、導電性と誘電性の両方の材料に優れた、薄膜の迅速かつ降着をもたらします。さらに、原子炉には、チャンバー圧力、温度、ガスの流れ、およびイオン源の電流を測定および監視するための複数のセンサーが含まれています。0242-29971リアクターの利点には、信頼性の高い均一な処理結果、優れた性能、高速サイクル時間、および最小限の基板損傷が含まれます。これにより、要求の厳しい半導体製造プロセスに最適なツールとなります。