中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0240-70935, 0240-70936 #9038984 を販売中

AMAT 0240-70935および0240-70936の大規模な並列原子炉は、スループット速度と再現性が最も高い基板にさまざまな材料を堆積させるための特殊なツールです。並列フローリアクターのシリーズで構築されたこれらのシステムは、フラット、ならびにパターン化された基板にさまざまな単層または多層薄膜を迅速かつ効果的に堆積することができます。低熱質量設計により、幅広い厚さ、サイズ、解像度の高品質フィルムを製造することができます。さらに、これらのプロセスはすべて、正確で低温のチャンバ環境で実行され、欠陥率と熱損傷を低減するのに役立ちます。この原子炉はまた、大量生産と研究ベースの実験の両方のためのアプリケーションを持っています。アプライドマテリアルズ0240-70935/70936原子炉には、多種多様なフィルムの正確で再現可能な生産のための制御が装備されています。システムの基本要素は、デュアル独立したマスフローコントローラです。これらのコントローラは、堆積する個々の層、各層の厚さ、および必要な温度設定を正確に制御できます。蒸着プロセスには、電熱化学蒸着法（「精密電気化学蒸着」とも呼ばれる）を利用しています。このプロセスは、スパッタリングや物理蒸着などの他の方法よりも高いフィルム特性の精度を提供します。リアクターのプロセスチャンバー自体には、蒸着プロセスを正確に制御するための4ウェイバルブ、真空ポート、およびガスインジェクタが装備されており、高品質で均一な堆積物のみを確実に行うことができます。フィルム特性が常に一貫していることを保証するために、チャンバー圧力も慎重に調整されます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS 0240-70935/70936には静電ファンシステムが内蔵されており、蒸着プロセス全体で信頼性と再現性の高いフローと圧力を保証します。プロセスの正確な監視を支援するために、リアルタイムのオンライン厚さモニター（ROTM）が含まれており、正確な膜厚測定が可能です。これらの原子炉もカスタマイズ可能であり、将来の拡張のために追加のコンポーネントを組み込むことができます。例えば、コントローラを追加して、エッチングの調整、急速なサーマルアニール、エッチングの延長などを行うことができます。これらの考慮事項を念頭に置いて、AMAT 0240-70935/70936大量並列リアクタは、単一のスタンドアロンプロセスとして、または統合されたマルチモジュールシステムの一部として動作することができます。これらの原子炉のユニークな特徴は、最高の均一性、厚さ、および解像度の様々な単層または多層薄膜を正確な低温環境で堆積しようとする人々に最適なツールです。