中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0200-06824 #293668873 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0200-06824は、半導体製造のための先進的なプラズマエッチング炉です。この装置は、浅いトレンチ絶縁（STI）と浅いトレンチより深いシリコンエッチングの両方で重要な機能定義のためのソリューションを提供します。リアクターのプロセスチャンバーは、複数の電極を備えたオールメタル設計であり、優れた結果を得るために選択的なエッチング速度を調整することができます。その高度なプラズマ源は、再現可能なプロセス性能のための優れた電気制御を提供します。このシステムは、小型の密閉ユニットとして設計されており、ノイズレベルの低下とユニットの清浄度の向上をもたらします。AMAT 0200-06824の高度なパワーと制御エレクトロニクスは、高性能な精度を提供します。これは、圧力制御機の機能を通じて示されており、優れたプロセス再現性を維持し、動作中のチャンバー壁のイオン爆撃を最小限に抑えることができます。原子炉の高度なRFジェネレータはまた、カスタマイズされたエッチプロファイル形状制御を可能にします。エンドユーザーは直感的で使いやすいGUI（グラフィカルユーザーインターフェイス）を楽しむことができ、レシピの作成とセットアップが簡単になります。利用可能なプロセスレシピの広い範囲で、原子炉のユーザーは、彼らが達成しようとしている製品のために自分のプロセスパラメータを最適化することができます。このツールはまた、繰り返し可能な実行をサポートし、ユーザーが資産の状態を確認できるように健康モニターが装備されています。アプライドマテリアルズ0200-06824は、高品質の半導体材料を製造するための直感的で効率的なモデルです。高度なプラズマ制御システムと幅広いプロセスレシピにより、エッチングプロファイルを正確に制御し、優れた性能を実現します。そのグラフィカルなユーザーインターフェイスは、セットアップとレシピの作成を簡単なタスクにします。ヘルスモニタリング装置は、オペレータが健全な意思決定を行うための最良の情報を確実に提供します。