中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0195-07994 #293663243 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0195-07994は、半導体および化合物半導体産業における蒸着プロセス用に設計されたデュアルプレナムリアクターです。シリコンエッチプロセス用に特別に設計されていますが、他の材料にも使用できます。このリアクタは高度に設定可能で、ユーザーは目的のプロセスに合わせてカスタマイズすることができます。それはよりよい温度調整のために個別に絶縁される独立したガス道が付いている2つの部屋を特色にします。2つのチャンバーには別のクリーンルームの安全な環境があり、ユーザーは原子炉に輸送する前にプロセスのガスとサンプルを保管して準備することができます。AMAT 0195-07994原子炉は複数のガス供給を備えており、複数のガスが同時に導入される実験を容易にします。ガス供給装置は高効率であり、最適な制御のために調整可能な流量レギュレータを備えています。また、各ガスの流量を個別に制御することで、対象とする実験の精度を高めることができます。また、低圧環境での運転も可能で、エチレンやフッ素系ガスを使用する場合に有利です。ガス供給ユニット、プロセスチャンバー、安全インターロックなど、システムのすべてのコンポーネントは、便宜のために単一のユニット内に収容されています。さらに、原子炉のプロセス室には、温度と蒸着速度を制御するための高度な自動化が装備されています。これは、チャンバーのコンピュータと統合されたソフトバンクのマシンを通じて達成されます。このツールは、ユーザーが自分の実験のパラメータを制御し、監視し、必要に応じてそれらを調整することができます。最後に、資産全体が安全を念頭に置いて設計されています。これには、高圧や温度などの危険な状態が発生するのを防ぐように設計されたいくつかの安全インターロックが含まれています。さらに、このモデルは、半導体業界の規制の厳しい安全基準を満たすように設計されており、プロセスが安全かつ効率的に行われるようにしています。