中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 019009275 / 019009272 #293658103 を販売中

AMAT 019009275（フォトレジスト・アッシャー）とAPPLIED MATERIALS 019009272（フォトレジスト・エッチャー）は、業界標準の300mm （12インチ）ウェハ上の半導体デバイスの製造に使用される原子炉です。これらの原子炉は、高温および精密なプロセス制御を使用して、ハイテクなチップ製造に使用される材料をクリーニングおよびエッチングします。019009275フォトレジストアッシャーは、半導体ウェハ上のフォトレジストの除去に使用されるシングルウエハ、大気圧の酸化アッシャーです。これは、チャンバー全体に均質な動作雰囲気を保証する非常に均一な、大容量のガス分配装置を持っています。シリコンチャンバーは、高温直接積載、強制対流システムを使用しており、高温処理を高速化します。また、熱応力を低減するために処理前に基板を自動的に予熱することができます。019009272フォトレジストエッチャーは、シングルウエハ、静電焦点、高真空エッチングリアクターです。基板表面からフォトレジストを除去し、イオン注入に備えるだけでなく、集積回路製造のためのパターンを形成します。均質な作動雰囲気を確保する均一なガス配分ユニットと、より効率的なガス配送を可能にする強制対流配送機を備えています。また、ウェーハ温度を維持するための冷却ピンホルダーと、エッチング速度と均一性を制御するための動的基板バイアスも備えています。どちらのプロセスも、複数のウェーハにわたってプロセスの均一性を確保するために自動化されたリアルタイムプロセスモニタリングと、実行中のプロセスを分析するための高度な診断を備えています。プロセスエンドポイント検出ツールは、反射防止コーティング（ARC）の故障を低減するのにも役立ちます。AMAT/APPLIED MATERIALS 019009275と019009272は、半導体ウェーハの加工において信頼性が高く、均一で効率的なプラットフォームです。チップ製造のための信頼性の高いハイスループット製造プロセスを提供し、ハイテクチップの製造に最適です。