中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0190-22355 Rev.003 #9204716 を販売中

AMAT 0190-22355 Rev.003は、主に真空システムで使用するために設計された原子炉です。それはステンレス鋼から組み立てられ、10-6 torrまで圧力を扱うことができます。原子炉の反応室は円筒形で、真空タイトOリングシールを備えたネジ接続により外部から密閉されます。原子炉には、反応室にガスや加熱気化材料を導入するために使用される3Kフランジが含まれている片側に2つのポートが取り付けられています。原子炉反応室には、内部に均一な温度を維持するための絶縁材が装備されています。これにより、高温電気炉を使用して、室温25°Cから室温1000°Cまでのさまざまな温度で作業することができます。この原子炉は、質量分析計、ガスクロマトグラフ、光放射分光計などの他の分析機器に直接接続して、完全に機能する真空プロセスを作成することができます。原子炉の断熱材には、プラスチック被覆石英板が含まれています。プレートは、原子炉を囲む2つの同心コイルを使用して電気的に加熱されます。これにより、反応チャンバーの均質な加熱が保証され、ホットスポットが存在するにもかかわらず、チャンバー全体に均一な温度が生じます。原子炉内には、酸化アルミニウム、チタンコーティング石英、グラファイト、窒化ホウ素の壁があり、加熱蒸気、ガス、および材料堆積物から原子炉を保護しています。この原子炉は、シラン、塩素、フッ化水素などの複数の材料を処理することができます。また、酸化やプラズマエッチングなど、さまざまな用途に使用することができます。チャンバーには最小サイズの要件はなく、高度に調整可能です。つまり、ユーザーはアプリケーションに合わせてサイズと形状を制御できます。おおよその使用可能量は0。5〜2リットルです。また、原子炉には温度制御機能が搭載されており、チャンバー内部の温度を正確に制御することができます。すべてにおいて、アプライドマテリアルズ0190-22355 Rev.003は、さまざまな用途で使用するために設計された高性能な原子炉です。その調節可能な部屋、均質な温度制御および多数の材料の両立性はそれをあらゆる真空の適用のための理想的な選択にします。