中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0100-20100 #293657571 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0100-20100リアクターは、さまざまな蒸着用途に優れたプロセス制御と均一性を提供する熱処理装置です。高いスループットと高い蒸着率を実現するために設計されており、生産プロセスに最適です。システムは、反応チャンバー、加熱素子、およびコンピュータ制御プロセス管理ユニットで構成されています。反応チャンバーは、1000°Cの最高プロセス温度で、高温を含むアプリケーション用に設計されています。チャンバーには、2つの不活性ガス入口と2つの排気口、および空気排気が装備されています。さらに、チャンバーには、均一な蒸着を確保するために、多数の設定可能なバッフル、スクリーニングコンポーネント、および熱電対が装備されています。機械のヒーター素子は、PLCベースのクローズドループ・プロセス制御ツールによって制御される高信頼性、低消費電力電源によって駆動されます。アセットは、ヒーター素子に電流および電圧入力を送信し、必要な温度が維持されるようにエレメントに自動的に電力を調整します。元素の実際の温度は、反応室内にある熱電対によって監視されます。このモデルは、PC制御のプロセスオートメーションソフトウェアによって管理されており、プロセス温度、プロセス時間、マスフロー、およびその他の関連パラメータなどのパラメータを簡単に設定および調整できます。このソフトウェアはまた、オフラインデータ分析用のプロセスデータを保存し、プロセスが再現可能で安定していることを保証します。また、ヒーター要素、ガス流量制御、インターセプトチャンバー機能の容易なアクセスと制御を可能にします。AMAT 0100-20100リアクターは、信頼性と再現性の高いプロセスを提供し、さまざまな蒸着アプリケーションで一貫して高品質の結果を保証します。さまざまな基板を高温に加熱する能力は、生産プロセスにとって貴重な機能であり、多くの産業用途に最適です。