中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0100-09153 #293658872 を販売中

ID: 293658872
Gas panel interface board.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0100-09153リアクターは、高度で高精度なポイシリコンエッチプロセスを実行するように設計された装置です。このシステムは、蒸着室とエッチング室の2つのチャンバーで構成されています。蒸着チャンバは、真空プロセスをサポートすることができるクローズドループ型の真空チャンバーです。このチャンバーは、低圧の導入、真空の制御、ユニットの温度の監視、ろ過の提供のプロセスをサポートする様々なコンポーネントが装備されています。エッチングチャンバーは、機械の主要な加工チャンバーとして機能し、エッチング処理が行われる場所です。このチャンバーには、蒸着チャンバの同様のコンポーネントも装備されており、エッチング処理を最適化するのに役立ちます。PMTAMAT 0100-09153原子炉には、エッチング処理に使用されるEビーム源とイオンインプランターが装備されています。まず、エッチング室に低圧イオン化ガスを導入し、加工基板の温度を上げるために加熱します。これにより、基質と化学反応を起こす反応種の導入が容易になり、精密なエッチングが可能になります。Eビームソースは、エッチング反応の方向を制御することにより、エッチング処理を支援する役割を果たします。最後に、イオンを基板上に埋め込み、基板の結晶の大きさや構造を操作します。PMT APPLIED MATERIALS 0100-09153リアクターは、幅広いエッチング処理が可能な洗練されたツールです。エッチング工程を精密に制御することにより、薄膜シリコン構造の開発に有用なツールとなります。優れた結晶特性と電気特性を持つ材料を製造することができます。さらに、マイクロエレクトロニクス業界で使用されるさまざまなコンポーネントのエッチングと製造に適しています。
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