中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0090-03467 #293649904 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0090-03467 Showerhead Reactorは、さまざまな目的で薄膜を堆積させるために設計された革新的な技術機器です。この原子炉は、密閉された処理室で覆われた上下のシャワーヘッド形状で構成されています。AMAT 0090-03467は、その大きな処理領域、強化されたプロセスの均一性と改善されたフローダイナミクスによって特徴付けられます。上部のシャワーヘッドには、下側のシャワーヘッドに動的なガスの流れの分布を可能にするガス供給のヒントの円形の配列が含まれています。ガスデリバリーチップは、腐食性材料に耐えるように設計された最上層の材料で構成され、プロセス領域全体に均一なガス流量を提供します。先端は偶然の取り外しを防ぐように設計されている保持リングによって所定の位置に保持されます。下のシャワーヘッドは、粉体供給源のための個々のスロットの数を収容するフレームで構成されています。スロットは調整可能で、さまざまな材料沈着プロセスの粉末源を微調整できます。下シャワーヘッド内にはインレットインジェクタも内蔵されており、薄膜成膜プロセスを支援する反応ガスの導入が可能です。密閉された処理室には、上下のシャワーヘッド形状が収納されています。それは高温ステンレス鋼の組み立てられ、処理部屋内の優秀な温度調整のための熱効率の絶縁材システムが装備されています。処理チャンバーの壁には石英が並んでいます。これにより、RFエネルギーをチャンバーに伝達し、必要に応じて基板に向けることができます。応用材料0090-03467 Showerheadの原子炉はケイ素、ガラスおよび金属を含むいろいろな基質の薄膜を沈殿させるのに使用することができます。薄膜は、薄膜太陽電池、光学コーティング、耐摩耗性コーティング、導電膜など幅広い用途に使用できます。この原子炉はまた、研究者、エンジニア、製造業者が薄膜を迅速かつ確実に沈殿させることを可能にする、ユーザーフレンドリーで費用対効果の高いツールであるように設計されています。