中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0041-56491 #293659985 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0041-56491リアクターは、半導体産業のエッチングおよび蒸着プロセスに使用されるツールです。このタイプの原子炉は、ガスベースの反応チャンバーに材料を堆積してエッチングするために使用されるプラズマ熱処理源です。AMAT 0041-56491原子炉は、半導体製造、研究および学術研究所、ならびに工業および生産プロセスで使用されます。この原子炉は、高品質、再現性、均一なエッチングを提供する、高スループット、低コストのウエハエッチング処理を備えています。このリアクタは、マルチツール環境で他のツールと統合することができ、運用の柔軟性を高めるハイスループットウェーハ処理を可能にします。さらに、原子炉は独自の多周波プラズマ源を使用して、さまざまなエッチング速度の材料を選択的に除去します。また、ウェーハの寿命を最大化するために温度とプロセス制御を備えています。また、多周波高周波プラズマ源によりウェーハ間の可変性も低減しています。Smart Etch Utility （SEU）ソフトウェアを使用すると、原子炉はエッチングレートのプロファイルを非常に特定のお客様の要件に合わせることができます。リアクターには、ウェーハのオンとオフの両方の熱処理の不均一性を最小限に抑えるために、クローズドループ電源制御システムを備えた電気ボックスが含まれています。原子炉は、その機能を高めるために、いくつかのアクセサリーを利用しています。これらには、さまざまなガス入口ライン、プラズマからチャックを保護するためのチャンバーシールド、およびオプションの真空ロードロックが含まれます。このロードロックにより、このツールをハイスループット生産に使用でき、プロセスの効率とスループットが向上します。応用材料0041-56491原子炉はまた、プロセス監視の複数の方法を備えています。これには、プラズマと原子炉の機械的性能の両方の包括的な診断が含まれます。プロセス中の任意の時点で、ユーザーは設定とパラメータを確認することができます、また、プロセスで撮影されたすべての手順の記録を表示します。0041-56491原子炉は、半導体産業のニーズを満たすように設計された汎用性と信頼性の高いツールです。このツールは、正確かつ一貫した結果を必要とするエッチングおよび沈着プロセスに最適です。さらに、原子炉は他のツールと互換性があり、機能性の向上とプロセス監視のためのアクセサリを備えています。