中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-70247 #9225693 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-70247は、高度なナノスケールのデバイス製造用に設計されたシングルウェーハ、シングルチャンバー、化学蒸着（CVD）装置です。この原子炉は、優れた均一性、再現性、拡張性を備えた基板上の誘電膜やその他の先端材料の成長を可能にします。AMAT 0040-70247リアクターは、プロセスガスの連続的な流れを可能にする機械的に設計されたシングルチャンバーを備えています。このフレキシブルな設計により、超薄膜の製造において、高温均一なシングルウエハ加工が可能です。原子炉は1000°Cまで温度に達することができるENEZ-1温度調節器が装備されています。これらの高温により、積層誘電層や平面化層などの複雑な材料層を堆積させることができます。この原子炉は、プロセスインターロック安全システムも備えており、偶発的な推進剤の漏れや粒子の汚染を防ぎ、さまざまなウエハータイプの安全な処理を保証します。さらに、APPLIED MATERIALS 0040-70247は、高温プロセスガス注入オリフィスと蒸着速度制御機能により、正確で温度に依存しないガス分布を保証します。ユニットはまた、機器設定の完全に自動化されたシーケンスが含まれています、異なる追跡モードとの再現性と一貫したパフォーマンスを確保します。0040-70247リアクターは追加材料の表を提供し、さまざまな材料の成長のための異なるプロセスガスを可能にし、したがって、基板上の超薄い層の生産を可能にします。さらに、ポリコールドウェーハと高真空モード機能により、さまざまなエッチング率の様々な材料を蒸着できます。AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-70247 CVDリアクターは、最先端のナノスケールのデバイス製造プロセスの要件を満たすように設計された堅牢で汎用性の高い機械です。それは最適なプロセス制御、高い熱均一性、精密なガス配分、比類のない再現性および高度の安全用具を提供します。