中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-53718 #293668979 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-53718は半導体加工に使用するために設計された高性能プラズマエッチング炉です。この原子炉は低温の空冷源を使用し、高電圧のRFエネルギーフィールドをソースに適用し、さまざまなエッチング作業に対応するプラズマ環境を作り出します。スループットの向上とエッチングの均一性の向上に加えて、AMAT 0040-53718も使いやすさとメンテナンスの容易さのために設計されています。原子炉源システムは、埋め込まれた3.5kW RF発電機に基づいています。発電機は、高周波安定性と低周波リップルを備えており、一貫したエッチング性能を実現しています。プラズマチャンバー自体は2つの銅コイルから構成されており、どちらもアルミナエンベロープに囲まれており、RF吸収性を最大化するために曇らされています。このユニークな材料の組み合わせにより、原子炉は優れた真空の完全性を維持しながら非常に高温に達することができます。部屋の内部は内部の縦の壁および二重供給のガス多岐管と形成され、ガスの流れを制御し、容易なクリーニングおよび維持を可能にする提供します。APPLIED MATERIALS 0040-53718のその他の機能には、使いやすい発電機コントローラ、低メンテナンスシャッターアセンブリ、およびポストエッチベーキング用の統合オーブンがあります。このコントローラを使用すると、操作パラメータをプログラムすることができ、リアルタイムでプラズマパラメータを監視および調整するためにも使用できます。シャッターアセンブリは、チャンバ全体で最大の圧力均一性を提供しながら、チャンバを酸化腐食から保護するように設計されています。最後に、オーブンは改善されたスループットおよび均一性のためのポストエッチベーキングを提供します。全体として、0040-53718は信頼性の高い高性能プラズマエッチング炉であり、今日の半導体加工業界の要求に応えるように設計されています。AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-53718原子炉は、高周波安定性発電機から内部部品のメンテナンスが容易なため、信頼性と費用対効果に優れた完全なエッチングソリューションを提供します。