中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-49285 #293647105 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-49285リアクターは、高出力、高温、高圧プラズマ処理システムです。これは、業界で利用可能な最も先進的なツールの1つであり、均一な温度、クリーンな処理、および高い材料蒸着率を提供します。AMAT 0040-49285原子炉は、薄膜成膜、イオン注入、エッチング、相互接続など、さまざまな用途に適しています。原子炉には、電源、RF電源、マルチチャンバーアセンブリが装備されています。この電源は、チャンバーのプレイオン化とチャンバ内のプラズマ形成のために、450Vまでの高電圧を生成することができます。RF電源は、プラズマを維持するために必要な高周波を生成するために、最大24kWの電力を生成することができます。マルチチャンバーアセンブリは、陰極チャンバ、陽極チャンバ、および低圧メインチャンバーで構成されています。陰極チャンバーは、RF電源によって生成されたRF電力を使用して、陽極に向けられ加速されるイオンの流れを生成します。アノードチャンバーには加工するワークが含まれ、同時に加熱されます。低圧メインチャンバーは、アーク回路または短絡を防止しながら、RF電源によって生成される高温および圧力を含むことができます。アプライドマテリアルズ0040-49285リアクターのマルチチャンバー構成により、プロセスを非常に正確に制御できます。チャンバーの温度と圧力は、必要に応じて正確に監視および調整することができます。さらに、アノードチャンバー内の圧力と温度は、ソースのガス流量と電子爆撃によってそれぞれさらに調整することができます。これにより、蒸着速度、イオンエネルギー、イオン注入レベルを正確に制御できます。0040-49285原子炉は、薄膜成膜からセラミック製造、エッチング、半導体加工まで、さまざまなプロセスを実行することができます。RF電源の強度、チャンバー内の圧力と温度の正確な制御、および可能なプロセスの範囲により、原子炉は多くの産業用途にとって貴重なツールとなります。