中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-48594EB #293663104 を販売中

ID: 293663104
Heater.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-48594EBは、信頼性と効率的な基板プロセスを実行するために設計された多目的、高精度の原子炉装置です。このシステムは、高圧および低圧の両方のアプリケーションで動作するため、幅広い実験およびプロセス要件に適しています。この原子炉には、自動連続飼料およびサンプルサイクル技術、正確な温度マッピング、不活性ガス制御ユニットなど、多くの高度な機能が装備されています。この機械は、直径400mm、高さ300mmの石英エピハキシャルリアクター室に基づいており、実験のための十分なスペースを提供し、基板の安定性を向上させます。サイドウォールはステンレス鋼から熱および化学薬品の安定性を保障するために組み立てられます水晶ドームは均一な暖房および赤外線放射を保障します。石英反応室は2000°Cまでプロセス温度を作り出すために力の3000Wまで可能です。エピグロース炉には、高度な実験に適した様々な要素が装備されています。3ゾーンのサンプル/基板加熱電源を備えており、より信頼性の高い一貫した結果を得るための正確な温度マッピングを提供します。ガス制御ツールは、低圧または高圧で動作するように設計されており、再現性と信頼性を確保するのに役立ちます。さらに、ユーザーが最適な健康とパフォーマンスを確保するために処理中に石英を監視することができるように、継続的なin-situ石英監視モデルが装備されています。AMAT 0040-48594EB炉は、多目的基板プロセス研究を行うための強力で効率的なツールです。高圧・低圧の幅広い条件で動作するため、幅広い材料で信頼性の高い実験が可能です。このシステムには、精密な温度マッピング、ガス制御サポート、継続的な石英監視など、多くの高度な機能が装備されています。
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