中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-02955 #293658139 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-02955原子炉は多目的で精密なプロセスチャンバーシステムで、幅広い成膜およびエッチングプロセスに最適です。AMAT 0040-02955原子炉は、ほぼ100万cm3までのレシピを可能にする業界をリードする1。8mの半径を備えており、多数の研究開発、生産、品質管理アプリケーションに最適です。APPLIED MATERIALS 0040-02955リアクターは、オールメタル2706-D非磁性ステンレス外装を採用し、高耐久性の真空シール、両面加工による高度なプラズマメタライジング、および優れたユニオン材料を採用し、長期にわたる信頼性の高い設計を実現しています。また、複数の緊急シャットダウンやデジタル読み出しなど、最適化された一連の制御により、安全性と汎用性が向上します。また、0040-02955リアクター内部には耐腐食性ステンレス鋼を採用し、最大動作圧力530 Torr、動作温度範囲-55〜250°C、幅広い対応基板材料を備えています。この原子炉は最大18のプロセスプログラムをサポートし、最大100万cm3の印象的なチャンバー容量を提供します。また、大きな堆積面積と最適化されたRFマッチングシステムを備え、基板の均一性と堆積率を向上させます。AMAT/APPLIED MATERIALIES 0040-02955原子炉は、3Dミックスパルス処理と基板間均一性により、シリコン、タングステン、TiN、および銅タングステン堆積などのさまざまな困難なアプリケーションに最適です。浸食応答および方向角プラズマスパッタリングの均一性は、シリコン、GaAs、 SiNエッチングなどのエッチング用途に最適です。この原子炉は、複数の技術エッチングを同時に行うこともできます。また、チップレベルの設計変更に最適な高アスペクト比エッチング機能を備えています。要約すると、AMAT 0040-02955リアクターは、沈着からエッチングまで、さまざまなプロセス技術に最適なソリューションです。APPLIED MATERIALS 0040-02955リアクターは、堅牢な構造、幅広いプロセス制御オプション、およそ100万cm3の最大動作容量を備え、安定した信頼性の高い結果を達成するための最適なツールです。