中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-00893 #293658095 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-00893リアクターは、半導体、特殊セラミックス、メタロイドなどの薄膜の大量蒸着用に設計されたデュアルゾーン垂直化学蒸着（CVD）リアクターです。この原子炉は、熱と化学的前駆体の組み合わせを使用して、2つの独立した作業ゾーン内のシリコンウェーハなどの基板に材料を直接堆積させます。この原子炉は、使用されている材料やプロセスに固有の条件を最適化するために個別に加熱することができる2つの完全に独立した分離された垂直ゾーンを備えています。これにより、独自のマルチゾーン蒸着プロセスが可能になります。各ゾーンを異なる温度に設定することで、基板上の正確で均一な堆積を確保し、基板と異なる加工条件の間の温度均一性を維持することができます。下層ゾーンには、様々なプロセスのために特別にプログラムすることができる等温ピレックス石英チャンバーがあり、多くの堆積技術に適しています。AMAT 0040-00893リアクターは、6インチラウンド基板ホルダーを備え、最大150個の個別基板を収容することができます。基板ホルダーは、システムを通気する必要なく、不要な材料を簡単に取り外すことができるように設計されています。原子炉はまた、非常に柔軟性があり、不飽和前駆体に対応できるガス導入システムで設計されているため、2ゾーン蒸着プロセスを十分に利用することができます。また、高特異的なフィルムの成膜速度を最適化するために、調整可能な流量範囲が含まれています。リアクターには、プロセスパラメータの現場監視を可能にする追加ポートも装備されており、プロセス制御と安全監視を強化できます。APPLIED MATERIALS 0040-00893リアクターは直感的なコントロールパネルで設計されており、効率的で安全な処理のためにパラメータを監視および調整することができます。全体的に、0040-00893原子炉は、安全で効率的な操作を可能にしながら、薄膜の均一な沈着を確保するために装備されているため、研究および産業用途の両方に最適です。