中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-20626 Rev C #9087289 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0020-20626 Rev Cは、化学蒸着（CVD）プロセス用に特別に設計された原子炉です。この装置は、長さ2フィート、直径2フィートの円筒形のチャンバーを備えています。チャンバーの下部には電気加熱チャックが設置されています。このチャックは、基板、またはCVD処理を受けるオブジェクトを保持するために使用されます。基板は直径2〜6インチの範囲があります。チャンバーには、チャンバーの首のすぐ下にある上端にある4つのバルブアクセスポートもあります。このポートを使用すると、CVDプロセス中に材料がチャンバーから流出することができます。これら4つのバルブは、多くの場合、プロセスガスや真空ポンプ排気などのさまざまな物質の入口および出口の流量を制御するために使用されます。バルブは、アプリケーションに応じて、さまざまな方法で構成することができます。チャンバーには、アルミナサセプター、またはチャックに配置された特殊なセラミック材料があり、チャンバー内の熱を均等に分散させます。これは、基板がチャンバー内のドンの位置に関係なく、同じレベルの熱を受け取ることを保証するのに役立ちます。AMAT 0020-20626 Rev Cリアクターには、安全に操作できる多くの機能があります。チャンバーには、緊急時にシステムへの電力を遮断するために使用できる緊急シャットオフスイッチが装備されています。さらに、原子炉には、室内に存在する可能性のある有害な可燃性ガスを置き換えるために、きれいな窒素ガスをポンプで送るために使用できる不活性ガス流量システムも装備されています。電力の面では、原子炉には20,000ワットの発熱体が装備されており、さまざまなCVDプロセスを実行するために必要な温度を提供することができます。さらに、原子炉には可変電源があり、プロセスの要件に応じてさまざまなレベルの電力を供給するために調整することができます。全体として、APPLIED MATERIALS 0020-20626 Rev Cリアクターは、さまざまなCVDプロセスに使用されている信頼性の高い汎用性の高いデバイスです。これは、さまざまな化学蒸着アプリケーションのさまざまな温度で安全に動作することを可能にする、多くの安全機能を備えています。