中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-0323 Rev H #9145237 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0020-0323 Rev Hは、化学蒸着(CVD)プロセスでの使用を目的とした先進的な熱炉です。この原子炉は、高度な制御、精度、再現性を提供するように設計されており、生産速度、一貫性、信頼性を開発または向上させたい人に最適です。この原子炉は高度なクローズドループ・プロセス制御システムを備えており、正確な熱制御と均一な処理環境を確保しています。また、システムのパフォーマンスを文書化し、長期的なプロセス最適化を可能にするさまざまな診断およびデータロギングツールも含まれています。この原子炉は24インチ×24インチのウェーハ容量を持ち、最大2504個のウェーハに対応できます。圧力は1〜150 Torrの範囲で調整可能で、エピタキシャル蒸着や低温プロセスなどのさまざまなアプリケーションをサポートします。温度較差はまた周囲と1000°Cの間で提供します調節可能です。また、最先端のマイクロプロセッサ制御ステーションを備えており、最大100種類のプロセスレシピを正確に保存できます。AMAT 0020-0323 Rev Hは、安全インターロック、リアルタイムモニタリング、一貫したパフォーマンスなど、ユーザーフレンドリーな機能も提供します。インターロックは安全性を確保するのに役立ちますが、リアルタイム監視により、オペレータはプロセスパラメータをチェックし、必要に応じて調整することができます。最後に、一貫したパフォーマンスにより再現性のある結果が保証され、プロセスレシピの活用によってさらに最適化することができます。結論として、APPLIED MATERIALS 0020-0323 Rev Hは、CVDプロセスで使用するために設計された先進的な熱炉です。優れた制御性、精度、再現性を備えており、目的のプロセス成果の開発と最適化を可能にします。最大2504個のウエハ、調整可能な圧力および温度範囲、および安全インターロックを処理する能力を備えた原子炉は、性能、一貫性、信頼性の向上を求める人々に信頼性の高い正確なソリューションを提供します。
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