中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-93423 #293650215 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-93423は、化学蒸着（CVD）処理を行うように設計された先進的なプラズマエッチング炉です。リアクターは、外部ベントシステムによって接続された上下チャンバを備えた2チャンバー、マルチプロセス機器です。それにプロセス変数の独立した制御を可能にする各部屋内の浅い部屋の設計そして温度調整があります。トップチャンバーは、強力な誘導電源を備えた高密度プラズマ源を備えています。これにより、エッチングプロセスの成功に不可欠な均一で再現性のあるプラズマを作成することができます。また、必要なエッチングパラメータを達成できるように、必要なプロセスガスを供給するための反応ガス供給ユニットも含まれています。下部チャンバーには複数の反応ターゲットが含まれており、その一部は絶縁される可能性があり、追加のプロセスコンポーネントまたは検出器を装着することもできます。AMAT 0010-93423は頑丈なステンレススチールフレームで構成されており、高温に耐えることができます。また、過圧保護用ラプチャーディスク、緊急排気システム、緊急ガスシャットオフバルブなど、幅広い安全機能を備えています。PLCは、プロセス設定とデータロギング機能にアクセスするために、オンボードタッチスクリーンで自動制御とデータ取得を備えています。これにより、ユーザーは重要なプロセスパラメータを監視し、操作中にリアルタイムで設定を調整することができます。また、PLCにより、機械をより大きなプロセス監視またはオートメーションネットワークに簡単に統合でき、EtherCATとEthernetベースのネットワークの両方をサポートします。応用材料0010-93423はプロセスおよび適用の広い範囲のために適しています。これは、酸化物、窒化物、およびオキシニトリドの沈着などの低温プロセスレシピを含むアプリケーションに最適です。また、シリコン、ステンレス、InP、 SiCなど幅広い素材でエッチングを行うことができ、高解像度・均一性を実現します。さらに、幅広いサンプルサイズに適しているため、研究開発プロジェクトでの使用に最適です。