中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-93133 #9277991 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-93133は、半導体製造に使用するために設計された先進的な自動炉です。原子炉は主にエッチング、蒸着、洗浄プロセスに使用されます。AMAT APPLIED MATERIALS Enduraプラットフォームの他のコンポーネントと連携して使用されます。AMAT 0010-93133は既製のプラズマ処理炉であり、さまざまな用途に構成することができます。SMIF対応のハードウェアを搭載しており、機器間および機器内の部品を効率的に輸送できます。ETCHおよびCVDリアクタは、統合されたフィードバックループを使用して、ガスの流れ、圧力、温度を正確に制御できます。この機能により、自動化された環境でのプロセスの再現性と再現性に優れています。APPLIED MATERIALS 0010-93133原子炉の設計には、運用効率を高めるためのいくつかの革新的な機能が含まれています。このシステムは、アルミニウムから銅までさまざまな材料を製造するように構成することができるマルチチャンバーツールを備えています。上部のチャンバーは、シリコン酸化物の生産などの代替用途のために密封して加圧することができます。最下部の部屋は頻度および電圧を処理するための完全なRFおよびDCの同軸注入ポイントを提供します。0010-93133原子炉はまた、PECVD環境で動作するための高真空チャンバーを備えています。これにより、より高い沈着率とより大きな結晶密度を得ることができます。クローズドループコントローラを使用することで、ウェハごとにプラズマ条件を調整し、安定した成膜プロファイルを提供できます。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-93133リアクターには、プロセス全体を制御するためのコンピュータ化されたユニットも含まれています。これには、ガス使用量とウェーハ転送を監視し、ウェーハの温度とガスの流れに関するリアルタイムデータを提供することが含まれます。このマシンはまた、高度なセキュリティと監査証跡を提供し、プロセス全体の完全な説明責任を保証します。全体として、AMAT 0010-93133は半導体製造業界で使用するために設計された最先端の自動化炉です。マルチチャンバープロセスが可能で、複数の種類の材料を製造することができます。その高度な制御ツールは、正確な操作と優れたプロセスの再現性を可能にします。これにより、APPLIED MATERIALS 0010-93133は、あらゆる半導体製造設備にとって貴重なツールとなります。