中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-77533 #293655752 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-77533は、薄膜成膜用に設計された先進的な原子炉です。この原子炉は、垂直方向のソースとシールドを備えた2ゾーンのクローズドセルのクロスフロー設計を特徴としています。このシールドは、高出力の石英ランプによって加熱される加熱ガスセル内に内蔵されており、精密な制御機構を利用して、品質の高い薄膜の一貫した堆積を保証します。加熱ガスセルは、差動マスフローコントローラの使用により、均一な温度を維持するように設計されています。これにより、信頼性の高い再現性のある成膜が保証され、最適な成膜条件が維持されます。ソースとシールドも、汚染を低減するために最適化されており、変動を最小限に抑えた高品質の薄膜を確保するのに役立ちます。均一な膜厚を実現するために、AMAT 0010-77533原子炉には3軸アーマチュアが組み込まれています。このアーマチュアは、重力の影響を最小限に抑える回転制御システムを備えており、チャンバー壁のすべての材料に対する均一な蒸着速度を維持します。電機子は高温抵抗力がある材料の組み立てられ、沈殿の区域への均一な熱エネルギー移動を保証するためにプロセス部屋の上下に、側面におよび出入りすることができます。原子炉には、堆積プロセスを監視および制御するためのいくつかの高度な機能が装備されています。これらには、事前設定された温度範囲を維持できる正確で正確な石英温度コントローラが含まれます。これは、一貫した均一な沈着を確保するのに役立ちます。さらに、原子炉には、酸素、アルゴン、窒素、硫黄、その他のガスなどのプロセスパラメータを監視するための光放射分光法（OES）が含まれています。これにより、蒸着プロセスを正確に制御し、スループットを向上させることができます。APPLIED MATERIALS 0010-77533リアクターは、生産性と効率性を向上させるためのさまざまな自動化機能も提供しています。これには、自動電源制御、自動送り速度制御、および自動シールドが含まれます。自動電力制御により、再現性と一貫した性能を実現し、蒸着プロセスの持続時間を短縮します。自動送り速度制御は、蒸着チャンバに材料を供給する際の精度と再現性を向上させるのに役立ちます。最後に、自動シールドは汚染のリスクを低減し、部品の寿命を延ばすのに役立ちます。全体的に、0010-77533リアクターは、安全で効率的で反復可能な方法で高品質の薄膜を提供するように設計されています。垂直方向のソースとシールド、石英ランプ加熱ガスセル、均一な蒸着のための3軸アーマチュアを備えた2ゾーンのクロスフロー設計を特徴としています。また、生産性を向上させ、フィルム品質を向上させるための高度な監視およびオートメーション機能を備えています。