中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-75005 #9389380 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005は、半導体デバイスの製造に使用するように設計されたシングルウェーハリアクターです。シングルウェーハリアクターは、熱アニーリングプロセスの一部として使用されます。それは簡単なドーパントの活発化から複雑な構造統合に及ぶ適用のための堅く制御された環境の高温を可能にします。AMAT 0010-75005は複数の部品で構成されています。これは、反応室に均一な熱エネルギーを提供する2つの垂直対向ランプを含みます。これらのランプは2つの電源で駆動され、照度を最大10kWの合計電力に正確に制御します。さらに、反応チャンバーには、均一な照射を保証する反射器が含まれています。ロードロックと真空伝達機構により、クイックチェンジカセットを使用したシングルウェーハ基板の安全な負荷を可能にします。この原子炉には、温度、圧力、および精密なアニール結果を得るための時間などのパラメータを制御するための急速熱処理（RTP）技術が装備されています。これにより、デバイスのパフォーマンスと信頼性が向上します。アプライドマテリアルズ0010-75005は、PCベースの熱処理ソフトウェアパッケージを使用してアニーリングプロセスを最適化します。これにより、熱処理を確実に制御し、バッチからバッチへの再現性を実現します。さらに、原子炉は、システムの完全性を最適化し、オペレータと人員を保護するための安全機能を備えて設計されています。0010-75005は、大きなタッチパネルと直感的なコントロールメニューを備えたユーザーフレンドリーなユニットです。真空制御およびウェーハの暖房は自動的に管理され、安全連結機械は注文の変数に置くことができます。AMAT/APPLIED MATERIALTS 0010-75005では、シリコン、ガリウムヒ化物、その他の材料を使用して、異なる基板を処理することができます。要約すると、AMAT 0010-75005は、サーマルアニーリングプロセスに使用されるシングルウェーハリアクターです。温度、圧力、時間を正確に制御してアニーリング結果を改善し、バッチプロセスの自動化を可能にします。その安全機能は、ツールの完全性を確保し、オペレータと人員を保護します。この原子炉は、複数の基板を用いた半導体デバイスの製造に有効なツールです。