中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-75005 #9087782 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-75005リアクターは、化学および/または半導体アプリケーションの中大量生産のために設計されたプロセス炉のワークホースモデルです。8インチまでの半導体製造に必要なすべてのプロセス工程に専用のワークスペースを提供します。この装置は、複数のモジュールを1つのユニットに統合し、効率的で費用対効果の高い生産セルを作成することで、プロセスの合理化を支援するように設計されています。AMAT 0010-75005原子炉には、さまざまなガスの流れと温度のための高品質の石英、パイレックス、またはアルミナ原子炉室が装備されています。システム内のすべてのモジュールは温度センサと統合されており、優れた熱制御と所望のプロセスパラメータの一貫した再現性を実現します。ターボ分子のin-situポンプを含み、高品質の超高真空環境を作り出し、アウトガスやその他の望ましくない現象を防ぎます。このユニットの主なコンポーネントは次のとおりです。Robot Loader：コンピュータ制御の自動ロードとアンロードマシンは、プロセスチャンバー内のウェーハを管理します。コントローラ：データ入力用のHuman-Machine Interface （HMI）、プロセスパラメータを確立するためのRecipe Editor、プロセスを制御するためのCentral Process Controller （CPC）、機能をカスタマイズするためのソフトウェアツールキットが含まれます。反応室：これにさまざまなプロセス適用を可能にするための選択の広い範囲があります。加熱ドーム、電気インジェクターヒーター、プロセスポート技術を備えており、高速で再現性のある結果を得ることができます。ガス分配ツール：反応チャンバへのガス分配の精度と再現性を確保するために、高精度の圧力レギュレータ、マスフローコントローラ、およびその他のガスシステムが含まれています。スパッタリングソース：これには、平面銃、回転シリンダー、さまざまなアプリケーションの回転ターゲットなど、さまざまなスパッタリングソースオプションが含まれます。In-situ Film Thickness Monitor and Contamination Monitor：このモニターは反応チャンバー内のパラメータをリアルタイムでフィードバックします。ビューポート：このビューポートは反応チャンバを明確に表示し、プロセスの変動を最小限に抑えます。応用材料0010-75005原子炉は完全に自動化されており、複数のプロセス手順に対応できます。このアセットにより、プロセス条件に関する即時フィードバックを迅速かつ簡単に設定できます。それはいろいろな温度および圧力適用に使用することができ柔軟性および反復性を提供するように独特に設計されています。0010-75005原子炉は、中量から大量の生産要件に最適です。