中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-70647 #293661401 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-70647コアリアクターは薄膜成膜に優れたソリューションです。スケーラビリティと柔軟性に優れたシングルウェーハ、低コストのソリューションで、量産に最適です。この原子炉は600mm x 400mmのチャンバーを備えており、高い使用率と高速な切り替え時間を備えています。原子炉の主な機能は、薄膜蒸着プロセスを含み、操作することです。独自のコアレスデュアル溶融鉄合金プール設計を採用し、広い表面積に対して高い均一な蒸着速度を実現しています。これにより、優れた均質な成膜結果が得られます。その低熱損失は、さまざまなプロセスに最適です。AMAT/Applied AMAT 0010-70647コアリアクターは、プロセスガスや蒸気の効率的な流れのための統合された質量移動装置を利用しています。このシステムは、反応性蒸着プロセスに適しています。プラットフォームには、堆積環境を正確に制御するために環境認証ユニット(EAS)が組み込まれています。この機械は、300°Cから1100°Cまでの蒸着温度と、大気から100 mbarまでの動作圧力を処理することができます。また、温度と圧力制御が統合されているため、バッチからバッチまでの優れた再現性を提供します。応用材料0010-70647原子炉の設計はまたプロセスのための容易な組み立てを提供します。大型マスクなどの工具に対応できる大型フロントエンドアクセスドアを備えており、工具の受領時にすぐに加工を開始できます。アセットには、シールド成膜チャンバーと調整可能/可動プラテン、ならびに統合ガス配送モデルも含まれています。APPLIED MATERIALS/APPLIED 0010-70647 Core Reactorは、優れた蒸着能力に加えて、圧力制御および温度プロファイル生成に最適な自動圧力制御(APC)装置の高度な機能を備えています。このシステムには、基板とプラテンへの容易なアクセスを可能にするマスクリフト装置も含まれています。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-70647コアリアクターは薄膜成膜と量産に最適です。効率的で再現性の高いセトリングプロセスにより、広範囲にわたって均質な成膜が可能になり、生産性を高めるための切り替え時間が短縮されます。これは、蒸着プロセスと薄膜製造のための高度で信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションです。
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