中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-70064 #293658125 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-70064リアクターは、産業用および科学用の基板上に薄膜層を加工および堆積するためのツールです。この原子炉は、半導体および薄膜蒸着、表面改質および関連プロセスに使用されます。この原子炉は、生産および実験室用途に優れた性能とプロセス品質を提供するように設計されています。原子炉は、囲まれた長方形のステンレス製のチャンバーから構成されています。部屋は内部維持のための強く、安定した内部圧力そして容易なアクセスのために設計されています。チャンバーの内部面積は150 x 180 x 114 cmで、大容量で高いスループットを実現しています。この原子炉は、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）、表面改質、エッチングなど、幅広い低真空、高温、高真空プロセスに最適です。主な特徴の1つは、低圧操作のための望ましいプロセス雰囲気を維持し、高圧操作のための真空レベルを維持する能力です。原子炉の内部圧力範囲は1 x 10-5 mbarから1000 mbarまでで、様々な材料の処理が可能です。原子炉は、反応室に反応剤を導入するためのさまざまなソースを利用することができます。これらには、ホットウォール、コールドウォール、コールドカソードのソースが含まれ、すべてがチャンバー内のユニークなプロセス特性と機能に貢献します。AMAT 0010-70064の原子炉にあらゆる単位に造られる安全および汚染制御の特徴の優秀なレベルがあります。これには、温度監視や制御、酸素/二酸化炭素（O2/CO2）監視などの広範な安全機能が含まれ、どちらも反応室を安全で一貫した動作条件に保ちます。さらに、チャンバーは十分に絶縁され、熱損失を最小限に抑えるように設計されているため、プロセスの最適な再現性が確保されています。最後に、これらの機能はすべて、廃棄物の生産を最小限に抑えて、原子炉が高品質の結果を生み出すことを確実にするのに役立ちます。応用材料0010-70064の原子炉は薄膜の沈殿のための強力で、信頼できる用具です。その設計と機能により、幅広い半導体、表面改質、エッチング用途に最適です。優れた性能、プロセス品質、安全機能を提供することで、あらゆる実験室や産業環境に最適です。
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