中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-70058 #293658101 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-70058リアクターは、薄膜成膜などの材料科学およびプロセス開発のさまざまな用途に設計された高効率のチャンバー装置です。このシステムは、薄膜材料の高品質で均一なコーティングを提供することができ、マイクロエレクトロニクス、データストレージ、太陽電池などのさまざまな用途で使用されています。AMAT 0010-70058リアクターは、取り外し可能なグラファイトるつぼを囲む高純度アルミナを含むステンレス製の真空チャンバーを備えた蒸着チャンバーを採用しています。蒸着チャンバには、蒸着速度を制御するために必要な精密バランスビーム、rfジェネレータ、およびその他のハードウェア部品もあります。このユニットはまた、2つの別々の段階に含まれている広範なチャンバー圧力制御機を含みます。圧力制御の第1段階には、ガスの背景圧力を低減するターボ分子ポンプと、チャンバー内の圧力を微調整する荒削りスロットルバルブが含まれています。圧力制御の第2段階には、ファラデーカップに結合された電子ビーム源と、蒸発速度とチャンバー圧力設定を正確に制御するためのメカニカルゲートバルブが含まれます。このツールは、最新の技術を活用し、最高のパフォーマンスを得るために最適化されたいくつかの部品で構成されています。高い加工速度、均一な層の厚さ、および優れた粘着制御を提供します。原子炉内で採用されている様々な技術には、高度な赤外線および紫外線レーザーの範囲と高度な電子顕微鏡が含まれています。化学蒸着のために、原子炉にはRF発電機、1つまたは2つのフィラメントフィードスルー、石英管、ガス注入ノズルがあります。作動中、ガスは、それらが加熱された材料と相互作用するターゲットの上に導かれます。原子が反応すると、材料のフィルムまたは層を基板に堆積させます。この層は、材料や動作パラメータに応じて、ナノメートルからマイクロメートルまでの厚さに及ぶことができます。アプライドマテリアルズ0010-70058リアクターは、化学蒸着に加えて、スパッタ蒸着やイオンビーム蒸着などの物理蒸着プロセスもサポートしています。スパッタ蒸着中に、真空チャンバーにターゲット材料を配置し、エネルギッシュな原子を爆撃します。これらのエネルギッシュな原子は、薄膜を形成する材料の表面を破壊します。イオンビームは、チャンバーに高エネルギービームのイオンを注入し、ターゲット材料と反応させることによって蒸着を補助します。全体として、0010-70058原子炉は、高品質で均一なコーティングを提供するように設計された高度で高性能なチャンバー資産です。最新の技術を駆使することで、均一な厚みと優れた粘着制御を実現します。また、様々な物理蒸着プロセスをサポートすることができ、幅広い薄膜技術に応用することができます。