中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-59789 #293665586 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-59789は、さまざまな材料沈着および表面処理技術で使用するために設計されたPECVD（プラズマ強化化学蒸着）原子炉装置です。AMAT 0010-59789原子炉システムには、プロセスチャンバー、コントローラ、およびガスマニホールド、電源、ケーブル、センサーなどのアクセサリーが含まれています。アプライドマテリアルズ0010-59789ユニットのプロセスチャンバーは、トップドームとボトムボウルで構成された円筒形のアルミ合金真空チャンバーです。トップドームにはクローズドループ式の強制流冷却機とイネーブルスイッチとセンサーがあり、上部の独立したポートからアクセスできます。ボトムボウルは、プロセスチャンバーがプロセスガス源を満たしている場所であり、プロセスプラズマが点火される場所でもあります。部屋の内部の壁はステンレス鋼から成り、400°C。までプロセス温度に抗するように設計されています。ボトムボウルには、副産物の迅速な避難のための排気ポートも含まれています。0010-59789のコントローラは、特別に設計されたPC制御ツールです。これには、原子炉のシーケンス動作を監視するPLC （Programmable Logic Controller）、 RS232および485通信のオプションが含まれ、市販のレシピベースのソフトウェアプログラムをサポートしています。このコントローラはまた、情報を収集し、生産プロセスを追跡するための統合スクラップ管理資産をサポートしています。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-59789原子炉モデルには、その操作を容易にするように設計されたいくつかの付属品が含まれています。ガスマニホールドは、原子炉にプロセスガスを供給するように設計されていますが、電源はプラズマ点火および蒸着プロセスのためのRF（無線周波数）エネルギーを統合しています。ケーブルやセンサーなどの追加の付属品を使用して、原子炉の動作条件を監視および制御し、偶発的なオーバーフローによる損傷から保護します。AMAT 0010-59789は、シリコーン、ポリマー、金属、半導体などの硬質および軟質材料のアニーリング、酸化、エッチング、成膜を含む多数の用途向けに設計されています。特に窒化物酸化物の製造用に設計されており、その温度および圧力要件により特殊な装置が必要となる。これにより、APPLIED MATERIALS 0010-59789は、信頼性と再現性の高い結果が不可欠な研究および商業アプリケーションに理想的です。