中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-52034 #293648075 を販売中

ID: 293648075
RF Match for Endura II.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-52034リアクターは、広範囲の温度、圧力、およびプロセスガスにわたって動作する手動で動作するプロセスチャンバーです。人間工学に基づいた設計とユーザーフレンドリーな機能により、材料の流量と蒸着速度を正確に制御する必要がある汎用蒸着アプリケーションに最適です。原子炉は、ステンレス鋼、アルミニウム、亜鉛などの標準材料から構成されています。それは円柱室、圧力計、マスフローコントローラー、発熱体および空気ポンプから成っています。この組み合わせにより、原子炉は、材料の表面に薄膜の蒸着などのプロセスをナビゲートすることができます。円柱状のステンレス鋼の部屋は38 "L x 14" H x 14 "Wを測定し、60°C。までの温度を扱うことができます。チャンバーは、300W制御された発熱体を使用して穏やかに加熱することができ、最大速度10°C/minで所望の温度制御を保証します。発熱体は原子炉の底から約4cm吊り下げられ、均一な加熱を提供します。圧力計はアルミニウム製で、チャンバーの上部にあります。このゲージはマスフローコントローラに接続されており、ユーザーはチャンバー内の圧力を正確に調整することができます。コントローラはエアベントと排気フランジにも接続され、空気の流入と流出を制御します。エアポンプは最大4500リットル/分で動作し、マスフローコントローラの直下に取り付けられます。これにより、目的のプロセスガスや成膜材料を連続的に流すことができます。さらに、チャンバは最大圧力1000 mbarまで正しく機能し、ソースから基板への材料の流れを安定して制御できます。完全なAMAT 0010-52034原子炉は、600°Cまでの温度で正確で信頼性の高い蒸着を提供するように設計されています。使いやすい設計と堅牢な構造により、一貫した結果を必要とする実験室と産業用途の両方に適しています。
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