中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36734 #293807909 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36734は、フルサイズの化学蒸着（CVD）チャンバーリアクタサブシステムです。電子ビーム装置内での使用を想定して設計されており、主にプリパターン基板またはウェーハへの材料の堆積に使用されます。チャンバーは、超高から周囲圧力条件、および2000°Cまでの温度までの動作が可能です。AMAT 0010-36734には、セラミックインジェクタ、排気システム、および前駆体またはリアクタント材料の分布用のRFコイルが含まれています。これは、チャンバー内の材料の均一な分布を確保するために行われ、高効率と品質の堆積物をもたらします。さらに、このチャンバーは、静電気による汚染や潜在的な損傷から基板とユニット部品の両方を保護するために、いくつかの注意を払った対策で設計されています。これらの対策には、帯電防止フローリング、不活性ガスシャワー、特殊な壁トリートメントが含まれます。応用材料0010-36734はまた圧力制御のオートメーション、均等性制御および遠隔診断のような部屋の全面的な性能を、高めるのに専門にされた技術を利用します。これにより、材料の正確かつ一貫した沈着と生産歩留まりの向上が保証されます。チャンバーには、すべてのチャンバーパラメータを監視および制御するコンピュータ制御のLCDディスプレイパネルも装備されています。このパネルは、圧力、温度、蒸着速度、RF電力、ガス消費量などの情報を提供します。これにより、オペレータはプロセスのパフォーマンスをリアルタイムで監視し、パラメーターを迅速かつ効率的に調整できます。結論として、0010-36734は業界標準のCVDチャンバーリアクター機です。基板に一貫した高品質の堆積物を提供するとともに、ツールの安全性を維持し、汚染を防止するように設計されています。精密かつ効率的な堆積環境を確保するために特殊な技術を使用し、また、コンピュータ制御のLCDディスプレイパネルを介して簡単に調整することができます。