中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9358045 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408リアクターは、表面および薄膜蒸着用途向けに設計された汎用性の高いハイエンド機器です。リアクターはヘリカルフロー設計、アクティブガス分布、自己完結型セラミックシェルなどの革新的な機能を備えています。フィルム成膜の均一性が高く、欠陥密度が非常に低い設計となっています。このシステムは、大きな反応室と最大0。004 m3の体積を持っています。蒸着の均一性は、ヘリカルおよび/または蛇行フロー技術を利用してガス対表面接触を強化する革新的なガス流量設計によってさらに向上します。活性ガス分布は、低粒子の汚染と堆積膜の耐火金属元素の大幅な減少により、表面条件の改善に等しい。これにより、堆積膜の寿命が延び、AMAT 0010-36408原子炉はハイエンドで高精度なプロセスに適しています。このリアクターには、低圧、低熱予算の蒸着プロセスを可能にする挿入可能なRFソースが装備されており、高付加価値のコーティング用途に対応できます。原子炉には、精密な温度制御システムと圧力制御システムがあり、それぞれが精密動作用に設計されています。リアクターの温度範囲は、1800°Cまでの広範囲の蒸着速度と温度をカバーするように設計されており、非常に低ノイズレベルです。この高性能リアクターには、低振動セラミックベル、フィルムマスク保護、プロセス割り込み、オートバランス機能など、さまざまな自動制御が付属しています。応用材料0010-36408原子炉は、多種多様な薄膜蒸着ニーズに適しており、高忠実性および/または高価値のコーティング用途に最適です。フィルム成膜の均一性と欠陥密度の低さにより、時間の経過とともに安定した性能を発揮し、精度と再現性の高い結果を得ることができます。