中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9177210 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408は、先端材料およびデバイス処理で広く使用されているシングルウェハ同心結合プラズマ（ICP）リアクター装置です。これは、より高いスループットプロセスとより良いプロセス制御など、従来の原子炉システムよりも多くの利点を提供します。これにより、エッチング、沈着、酸化/還元など、さまざまなプラズマ用途に適しています。この原子炉は、プラズマの均一性を向上させ、効果的にウェーハ表面をきれいにするのに役立つデュアルレーザーソースを備えています。レーザー源は主要な部屋の外にあり、増加したプロセス信頼性および制御を可能にします。デュアルレーザーにより、プラズマパラメータの制御が容易になり、より効率的な操作が可能になります。この原子炉は、200〜300mmの直径のウエハに対応でき、最大RF電力は1.2kW、最大誘導電力は4kWです。RF電源はゼロから任意の周波数に設定でき、プラズマ電力を正確に制御できます。上部シールドは、拡散プロセスに適した均一で温度安定した大気を生成するために使用されます。このシステムにはRFフィードバックループが装備されており、プラズマパワーを継続的に監視して、パラメータを正確に制御できます。これにより、高精度で再現性の高いプロセスを実現します。原子炉はまた、均一なプラズマ分布を維持するために可変速度対流制御を備えています。これにより、ウェーハ全体でより均一な材料蒸着が可能になります。これは異方性エッチング用途で特に有用であり、材料はすべてのサーフェスから均一にエッチングされなければならない。このユニットは、オンサイトインストールとポータブルシステムの両方のために設計されています。特定のプロセス要件に応じて完全にカスタマイズ可能で、複雑なカスタムレシピに設定できます。また、プロセス安全のための複数の安全機能も含まれています。AMAT 0010-36408リアクターは、材料加工およびデバイス製造アプリケーション向けの汎用性の高い機械です。これは、高速処理速度を提供し、他のシステムよりも高いプロセス制御を提供します。それはいろいろな産業、研究および教育の設定の使用のために適しています。