中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36408 #9026414 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36408は、マイクロエレクトロニクスデバイス製造用に設計された先進的なプラズマエッチング炉です。基板表面をエッチングしてパターン化するために光学的に生成されたプラズマを使用する超高真空環境を保持および維持するために使用されます。原子炉は、基部に平らな金属板を備えた円筒形のチャンバーで構成されています。反応ガスの腐食に強い内壁と、外部電界や磁気ノイズからプラズマを遮蔽するファラデーケージを備えています。上部プレートを介してチャンバーに多層正極アセンブリが挿入され、放電源として機能し、プラズマによって生成された電子を収集します。カソードアセンブリは電源に接続されており、カソードとアノード（金属板）との間で最大30kVまでアーク放電を行うことができます。AMAT 0010-36408はまた、エッチングマスク、ポンピングポートアイソレータ、デジタル読み出しガス圧力レギュレータなど、その性能を向上させるためのオプションのアクセサリーの完全なラインを備えています。真空チャンバー内にある電気発熱体は、原子炉の部品を加熱し、均一な反応温度を促進し、プラズマの安定性を向上させるために使用されます。原子炉には、エッチング処理を監視するための表示ウィンドウも装備されています。最後に、APPLIED MATERIALTS 0010-36408は、信頼性と一貫した結果を保証するために、厳しい基準に工場で校正されます。堅牢で耐久性のある構造により、さまざまな動作環境で確実に動作できます。半導体業界の基板の高精度エッチングやパターニングに最適な先進炉です。