中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162W #293620937 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162Wリアクターは、化学蒸着、エッチング、表面改質などの化学および材料処理を行うために使用される高性能、高スループットツールです。この原子炉は、標準の直流電源で使用するために設計された、変更された高効率、低温、直流（DC）駆動プラズマ強化装置です。ポリシリコンライナーは、半導体産業における金属、ポリマー、その他の誘電材料の堆積に最適です。AMAT 0010-36162Wリアクタは、拡張可能な高精度のリニアモーションベースと2つのグラウンドでサポートされているフローダイナミックアノードスライダーを備えており、両方向に安全な動きを提供します。原子炉は完全に密閉されており、汚染物質の蓄積を防ぎ、正確な化学反応を可能にします。このユニットは、蒸気供給システムを備えた密閉チャンバーを備えており、正確な蒸気供給と優れた蒸発制御を可能にします。部屋の設計は温度の層別化を除去し、精密な化学温度制御を可能にする高度のガス動的遮蔽絶縁材を含んでいます。積分成膜マトリックスは基板インターフェイスでターゲットの正確な位置決めを提供し、4ゾーンのサーマルプロファイル制御ユニットは信頼性の高い熱管理を保証します。アプライドマテリアルズ0010-36162W原子炉の制御可能なガス機械は、最大6つの個別にプログラム可能なガス入力を利用し、複数の気体反応と精密な化学制御を可能にします。また、飛行時間質量分析計（TOF MS）とイオンポンプを搭載し、揮発性酸化プロセスを容易にし、反応生成物の直接検出と制御を可能にします。拡張可能なプロセスモジュールが用意されているため、さらなる蒸着機能と材料スループットの向上が可能です。0010-36162W炉は非常に信頼性が高く、過酷な運転条件下でも優れた制御と再現性のある性能を備えています。このツールは完全にスケーラブルで構成可能で、幅広い基板サイズ、材料、およびプロセスに対応し、最大限の柔軟性を実現します。また、精度の高いリニアモーションアセンブリにより、優れた再現性と安定した画層整合性が保証され、統合された診断アセットにより、発生する可能性のある問題をオペレータに通知することができます。最先端の技術と革新的な設計により、最も要求の厳しい化学反応および半導体操作のための理想的なツールとなります。