中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-36162 #152194 を販売中
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-36162は、幅広い産業用途に使用される高温化学蒸着(CVD)炉です。この原子炉は1000°Cまでの温度が可能で、安全な動作を保証するために複数の安全システムが装備されています。これは、優れたプロセス制御と均一性を提供しながら、さまざまなプロセスパラメータを正確に制御するように設計されています。ステンレス製のボディにセラミック断熱材を配し、CVDプロセスに安定した効率的な室内環境を提供します。その堅牢な設計は、銅、シリコン、III-V化合物半導体材料などの幅広い製造プロセスに適しています。この原子炉はまた、特定の生産段階でプロセスに酸素を制御可能に導入するための酸素フロー装置を備えています。AMAT 0010-36162にはガス分配板とガス供給システムも装備しています。ガス分配プレートは、CVD成長のためのガスの正確な分布を可能にし、基板全体の蒸着速度と均一性を正確に制御するために調整することができます。自動化された温度制御ユニットには、複数のセンサーと100 mbarまでの正確なフィードバックループと最大1000°Cの温度範囲があります。この原子炉には、コンピュータ化されたプロセス制御ユニット(PCU)があり、ユーザーがCVDプロセスをリアルタイムで監視および制御するのに役立ちます。このPCUは自動化され、ユーザーフレンドリーに設計されており、ユーザーはCVDプロセスを迅速かつ効率的にセットアップ、実行、監視することができます。応用材料0010-36162の原子炉は速く、費用効果が大きい方法で良質の部品かプロダクトを製造するために精密な温度調整および均等性を要求する企業の広い範囲にとって理想的です。この原子炉は、信頼性の高いコンポーネント、堅牢な設計、コンピュータ化されたプロセス制御マシンで構築されており、プロフェッショナル、セミプロフェッショナル、さらには趣味のユーザーにも最適です。
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