中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686 #9199797 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686は、多種多様な材料を迅速に処理するために設計されたプラズマCVD炉です。それは非常に高温で動作することができ、ユーザーが特定のアプリケーションに最適な処理パラメータを選択できるようにするために、さまざまなプロセスオプションを提供しています。この原子炉には、高エネルギーイオンを生成することができるハイエンドプラズマ源が装備されており、高温での処理が可能です。堅牢で信頼性の高いプラズマ源は、効率的な熱輸送を可能にし、迅速なプロセスサイクルと優れたプロセス再現性を実現します。AMAT 0010-30686原子炉は、トップグレードのアルミニウムとステンレス鋼から構成された、密閉された長方形のチャンバーです。原子炉上部に位置するガスマニホールドは、ガスラインに接続し、特定のプロセスに最適な流量と圧力レベルを提供するように調整することができます。チャンバー内部では、支持構造を使用して基板表面上にプラズマトーチを吊り下げ、プロセス条件と再現可能な結果を最適に制御できます。プラズマトーチには、高エネルギー（13。56MHz）の電波を発生させることができる高周波発電機が搭載されています。このエネルギーは、RFネットワークを介してトーチノズルに送信され、高密度プラズマが生成されます。このプラズマは、最大1500°Cの温度を達成するのに十分なエネルギーを発揮し、毎秒数アングストロームの速度でフィルムやコーティングを成長させることができます。基板をチャンバーに積み込み、液体前駆体溶液に沈めます。液体-固体界面は一定温度で維持することができ、基板は均質に加熱されたままになり、さらに膜の沈着を促進することができます。チャンバー内の圧力レベルは、特定のプロセスの所望の圧力を達成するために調整することができます。温度は、チャンバー壁に埋め込まれた熱電対に接続されているコントロールパネルによって調整することができ、プロセス条件の正確な制御と監視を可能にします。応用材料0010-30686の原子炉は研究者および企業のための多目的な用具を同様に作ります広い応用範囲に使用することができます。その信頼性と再現性の高いプロセスにより、エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、センサー、医療機器に使用される高品質の薄膜、コーティング、およびその他の複雑な材料の製造を可能にします。