中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686 #293635611 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686は、プロセスの柔軟性と可能な限り最高のプロセス性能を実現するために設計された、単一のウェハバッチ化学蒸着（CVD）装置です。この原子炉の構造はステンレス鋼からなされ、腐食性の材料との使用のために気密です。このシステムにより、高率かつ高温において、高高度かつ完全に滑らかな基板表面を均一に基板上に成膜することができます。ユニットはワンカセット設計で、プロセスとロードロックチャンバーの両方にアクセスできます。このプロセスチャンバーは、標準エピタキシャルおよび高度なプロセスケミストリーの2ゾーン構成と、特殊プロセスケミストリーの3ゾーン構成を提供します。ロードロックチャンバーは、多目的In-Situ処理チャンバを備えており、プロセスガス、ポンプ、およびその他のアクセサリ用の複数のポートを備えています。AMAT 0010-30686原子炉には、ガス供給および監視システムを収容するためのガスボックスが含まれています。このガス箱は温度制御され、粒子のろ過、圧力および流れ制御を含んでいます。それはまた電子流れ制御および圧力トランスデューサーが付いているガス混合の多様体を含んでいます。機械にすべての電子工学のオートメーション、アルゴリズムおよび高度ソフトウェア技術があります。最大7つのガスを使用した高速エッチングおよび蒸着レシピ、および複数のチャンバー機能をサポートします。特長は、熱均一性のための統合チラー、最大化された上部バスローディングのための統合ロードポートサポート、クワッドゾーンの壁制御統合によるマルチゾーンプロセス制御、および自動レシピ最適化です。安全性と信頼性の観点から、このツールには、安全で信頼性の高い動作を確保するためのアラームシステム、安全インターロック、電圧インターロック、およびプロセス監視システムがあります。さらに、原子炉は低エネルギー使用と効率的な操作のために設計されています。この資産にまた容易な維持およびサービスのためのモジュラー設計があります。全体として、APPLIED MATERIALS 0010-30686リアクターは、高品質のフィルムを製造するための信頼性が高く効率的なモデルです。その高度なプロセスケミストリー、マルチゾーンプロセス、ガスボックス温度制御設計、安全インターロックとアラーム、および最適化されたレシピオートメーションにより、均一で優れた表面平滑性を持つ基板上に膜を堆積させるための理想的な装置となります。