中古 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30686 #119697 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686リアクターは、コーティングと微細構造をエンジニアリングするための完全な熱CVDプロセスを提供する高度なCVD（化学蒸着）ツールです。この装置はモジュラープラットフォーム上に構築されており、研究者は最も要求の厳しいプロセス要件を満たすためのソリューションを設計することができます。AMAT 0010-30686原子炉は、室温から1000Cまでの標準的なプロセス温度、10〜200 mTorrのプロセス圧力など、幅広いプロセス能力を提供します。このシステムは、高度に制御された熱CVDプロセスおよび/または非常に高温を必要とする研究アプリケーションに最適です。アプライドマテリアルズ0010-30686リアクターには、シングルウェーハまたはバッチ処理用の八角形のデュアルゾーンリアクター炉と、最大8つのプロセスガス用のガス分布マニホールドが含まれています。オンボードプロセス監視装置は、実行から実行までの繰り返し可能で信頼性の高いプロセスを保証します。さらに、プロセスパラメータをリアルタイムに制御することで、膜厚や膜均一性など、特定のターゲットに対して蒸着プロセスを最適化することができます。0010-30686原子炉のチャンバーは95％アルミナから構成されており、幅広いプロセス雰囲気や化学物質との互換性に最適です。チャンバーには、いくつかのプロセスに必要なエネルギッシュなプラズマを供給するために使用される3-Kilowatt RFジェネレータも含まれています。RFジェネレータによって生成される放射熱を使用して、最高の蒸着温度を達成するか、エンドユーザーの要求に応じて等温プロセスを維持することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30686リアクターは、フロントローディングウェーハシャトルやプロセスオフロードユニットなど、他のシステムとは別に設定されています。リアクターには統合されたメンテナンスマシンがあり、プロセスイベントを追跡するための包括的なデータロギング機能があります。最後に、このツールは、コントロールコンソールからボタンキーパッドを使用してリモートで上下に電源供給することができます。AMAT 0010-30686原子炉は、高温および/または高テクスチャプロセスエンジニアリングとR&Dのための強力で汎用性の高いCVDツールです。この資産のモジュラープラットフォームは、柔軟で直感的なエンドユーザーのセットアップを可能にし、異なる処理雰囲気と化学物質を持つさまざまなプロセスに合わせて調整することができます。創造的なプロセス工学に依存する研究アプリケーションは、この高度な熱化学的に制御された原子炉の精密制御、堅牢な安全機能、および反復可能な性能の恩恵を受けることができます。